熱式氣體質量流量計是利用加熱時液體溫度上升至某一值所需的能量與液體質量之間的關系來測量液體或氣體質量的一種流量儀表。一般用來測量煤氣等氣體質量的流量。它具有壓損小、流量范圍度大、高精度、高重復性、高可靠性、體積小、易維護不易損壞等特點。

通電時，橋臂電流將速度傳感器加熱到高于流體溫度T2一個濕差ΔT的T1，即T1-T2=ΔT。不平衡電橋就變成平衡電橋。此時電橋便輸出一個對應零流量的電壓，經放大電路處理，輸出流量計的下限信號4mA；瞬時流量顯示為000；且累積流量無累積動作發生，累積顯示保持著原來的累積數字不變。當流體流經加熱的速度傳感器時，根據熱傳導原理，將會帶走速度傳感器的一部分熱量，使其溫度T1下降，而且流量越大，帶走的熱量越多，其溫度T1下降也越大，電橋又變成一個不平衡電橋。由于橋路的反饋控制作用，總要回到平衡電橋狀態。為此，電橋必須在速度傳感器上流過與流量大小成正比的電流，使速度傳感器回到平衡狀態時的溫度T1。這時橋路便輸出一個正比于流量大小的電壓信號。經電路放大、線性化處理,使輸出與流量成正比的4-20mA之間的一個電流信號、瞬時流量顯示為直到*大刻度流量的一個值、累積動作將以與瞬時流量成正比的速度進行累積。

圖1是熱式氣體質量流量計的結構及工作原理示意圖。它利用流體(氣體)與固體(傳感探頭)之間的熱傳導原理，使氣體流量的變化，以溫度變化的形式檢測出來，再轉換成電信號，經放大線性處理后，輸出與瞬時流量相對應的4-20mA電流信號、LCD瞬時流量顯示和六位LCD累積流量顯示。圖1中，熱式氣體質量流量計由傳感探頭和電子組件組成。傳感探頭由兩個傳感器組成，一個是流體速度傳感器，另一個是流體溫度傳感器。測量時，傳感探頭插入流體中，感受流體的流速和溫度。它們同時是電子組件橋路的兩上橋臂，形成一個不平衡電橋 。